Точечным дефектам свойственны малые размеры во всех трех измерениях,  причем их величина равна нескольким атомным диаметрам (но не более). Такие изменения могут быть представлены в виде:

- вакансий (Шоттки) – свободных мест в узлах кристаллической решетки;

- дислоцированных атомов (дефектов Френкеля) – атомов, которые сместились из узлов кристаллической решетки в промежутки между узлами;

- примесных атомов, то есть, атомов других элементов, что находятся как в междоузлиях, так и в узлах кристаллической решетки.

Образование точечных дефектов может быть вызвано тепловыми, механическими либо электрическими воздействиями, а также при облучении рентгеновскими лучами, электронами или нейтронами.