Лекционный материал по дисциплине "Наноинженерия" - ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, Ильина Елена Евгеньевна

Лекционный материал по дисциплине "Наноинженерия" - ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

Предмет:	Физика
Категория материала:	Конспекты
Автор:	Ильина Елена Евгеньевна ^{это Вы?}

Здесь была ссылка на работу Лекционный материал по дисциплине "Наноинженерия" - ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ автора Ильина Елена Евгеньевна.
Ссылка на нее удалена по требованию посредника Инфоурок.

Если вы являетесь автором этой работы и хотите подтвердить её публикацию на этом сайте, свяжитесь с нами.

🎓 Помощь в написании уникальных работ для студентов

✍ Тема работы

Тип работы

E-mail

Телефон

Отправляя запрос, вы соглашаетесь с политикой конфиденциальности

воспроизводимость параметров диффузионных областей.

Окислительный процесс при использовании жидких и газообразных диффузантов состоит из следующих стадий:

1. Взаимодействие диффузанта с O2 в газовой фазе с выделением ангидрида легирующего элемента

жидкие

BBr3 + O2 → B2O3 + Br2

POCl3 + O2 → P2O5 + Cl2

(POCl3 - хлор-окись фосфора, испаряется при 2 ... 40°С).

PBr3 - трибромид фосфора (испаряется при 170°С и применяется в атмосфере без кислорода.

PCl3 - трихлорид

газообразные

B2H6 + O2 → B2O3 + H2O

Тип материала:	Документ Microsoft Word (docx)
Размер:	220.2 Kb
Количество скачиваний:	4

Похожие материалы