Лекционный материал по дисциплине "Наноинженерия" - ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Предмет: | Физика |
---|---|
Категория материала: | Конспекты |
Автор: |
Ильина Елена Евгеньевна
|
воспроизводимость параметров диффузионных областей.
Окислительный процесс при использовании жидких и газообразных диффузантов состоит из следующих стадий:
1. Взаимодействие диффузанта с O2 в газовой фазе с выделением ангидрида легирующего элемента
жидкие
BBr3 + O2 → B2O3 + Br2
POCl3 + O2 → P2O5 + Cl2
(POCl3 - хлор-окись фосфора, испаряется при 2 ... 40°С).
PBr3 - трибромид фосфора (испаряется при 170°С и применяется в атмосфере без кислорода.
PCl3 - трихлорид
газообразные
B2H6 + O2 → B2O3 + H2O
Тип материала: | Документ Microsoft Word (docx) |
---|---|
Размер: | 220.2 Kb |
Количество скачиваний: | 4 |