воспроизводимость параметров диффузионных областей.

Окислительный процесс при использовании жидких и газообразных диффузантов состоит из следующих стадий:

1. Взаимодействие диффузанта с O2 в газовой фазе с выделением ангидрида легирующего элемента

жидкие

BBr3 + O2 → B2O3 + Br2

POCl3 + O2 → P2O5 + Cl2

(POCl3 - хлор-окись фосфора, испаряется при 2 ... 40°С).

PBr3 - трибромид фосфора (испаряется при 170°С и применяется в атмосфере без кислорода.

PCl3 - трихлорид

газообразные

B2H6 + O2 → B2O3 + H2O