Лекционный материал по дисциплине "Наноинженерия" - ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

Предмет: Физика
Категория материала: Конспекты
Автор:

воспроизводимость параметров диффузионных областей.

Окислительный процесс при использовании жидких и газообразных диффузантов состоит из следующих стадий:

1. Взаимодействие диффузанта с O2 в газовой фазе с выделением ангидрида легирующего элемента

жидкие

BBr3 + O2 → B2O3 + Br2

POCl3 + O2 → P2O5 + Cl2

(POCl3 - хлор-окись фосфора, испаряется при 2 ... 40°С).

PBr3 - трибромид фосфора (испаряется при 170°С и применяется в атмосфере без кислорода.

PCl3 - трихлорид

газообразные

 

B2H6 + O2 → B2O3 + H2O  

Тип материала: Документ Microsoft Word (docx)
Размер: 220.2 Kb
Количество скачиваний: 4
Просмотров: 74

Похожие материалы