чистоту поверхности пластины с поверхностной концентрацией:

- щелочных и тяжелых металлов < 50ат/см2;

- алюминия и кальция < 10ат/см2;

- органических примесей (по С) < 10ат/см2.

Привносимая дефектность, связанная с наличием микрочастиц на поверхности, должна составлять 0,02 см2.

Комплекс химических обработок (химобработок) в процессе производства состоит из следующих операций (в соответствии с базовым технологическим маршрутом):

- финишная химобработка;

- удаление фоторезиста;

- травление оксидов, стекол,

- травление нитрида кремния.